壓差

這里根據潔凈度等級分2種情況：

1.相同潔凈度等級的潔凈室，壓差需要保持一致；

2.不同潔凈等級的潔凈室，相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（這里主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免氣流倒灌）。

氣密性是廠房圍護結構設計的一個關鍵。氣密性不良會導致凈化車間空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞凈化車間室內環(huán)境的潔凈度。圍護結構的氣密質量取決于墻、頂棚、門窗以及其他附加配件的構造和施工，這些都是應該引起重視的問題。

 機械過濾：

HEPA網，中文意思是空氣過濾器，達到HEPA標準的過濾網，對于0.3微米的有效率達到99.998%，HEPA網的特點是空氣通過，但小顆粒不能通過。HEPA過濾網由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜組成，以形成用于放置和支撐過濾邊界的波狀墊片。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級，還需要保證能達到除靜電的效果。

 車間區(qū)域應適應研究，合理排水，平地，無積水，防滑，易清潔材料，無毒，防水等。只有細節(jié)有保證，工程才能保證標準。

物理凈化方法

吸附過濾即活性炭。活性炭是一種多孔含碳材料，具有高度發(fā)達的孔結構，活性炭的多孔結構為其提供大量的表面積，能與氣體（雜質）完全接觸，這使得活性炭具有吸附性能，很容易達到吸收和收集雜質的目的。

 氣密性是廠房圍護結構設計的一個關鍵。氣密性不良會導致凈化車間空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞凈化車間室內環(huán)境的潔凈度。圍護結構的氣密質量取決于墻、頂棚、門窗以及其他附加配件的構造和施工，這些都是應該引起重視的問題。凈化車間的潔凈度級別通常分為：百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機制造等行業(yè)中。