無塵車間的整體布局

物料凈化道路

各種物件在送入無塵區(qū)前有必要通過凈化處理，簡稱;物凈。

物料凈化道路與人凈道路應分隔，如果物料與人員只能在同一處進入無塵車間，也有必要分門而入，物料先通過粗凈化處理。

關于出產(chǎn)流水線不強的場合在物料道路中心可設中心庫。

如果出產(chǎn)流水線很強，則選用直通式物料道路，有時還需求在直通道路中心設屢次凈化、傳遞設備。

在體系規(guī)劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區(qū)應堅持負壓或零壓，如果污染危險性大則對進口方向也要堅持負壓。

 無塵車間的建筑平面和空間布局，應具有適當?shù)撵`活性。潔凈區(qū)的主體結構不宜采用內(nèi)墻承重。無塵車間的高度以凈高控制，凈高應以100毫基本模數(shù)。對于無塵車間中的各種設備，在無塵進入后，也要時常清潔滅菌，并且定期進行檢查，防止無塵車間內(nèi)塵粒和微生物的產(chǎn)生、繁衍和滯留。無塵車間設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關政策方針，必須做到技術先進、經(jīng)濟合理、安全適用、保證質(zhì)量、節(jié)約環(huán)保等要求。

進行凈化裝飾時，需要對門窗、建筑物、凈化空調(diào)、各種線路、照明燈具的結合部的間隙進行密封處理。無塵車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動，受污染空氣的流動達到程度，空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動方向正確。 無塵車間是指控制產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個環(huán)境空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。