電子束鍍膜與電阻鍍膜的區(qū)別

電子束蒸鍍與利用電阻進(jìn)行蒸鍍的優(yōu)勢在于：可以為待蒸發(fā)的物質(zhì)提供更高的熱量，因此蒸鍍的速率也更快；電子束定位準(zhǔn)確，可以避免坩堝材料的蒸發(fā)和污染。但是由于蒸鍍過程中需要持續(xù)水冷，對能量的利用率不高；而且由于高能電子可能帶來的二次電子可能使殘余的氣體分子電離，也有可能帶來污染。此外，大多數(shù)的化合物薄膜在被高能電子轟擊時會發(fā)生分解，這影響了薄膜的成分和結(jié)構(gòu) 。沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)電子束供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

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電子束操作及注意事項

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場電源，工作時操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束鍍膜有哪些特點？

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★ 完全封閉的系統(tǒng)框架設(shè)計，外觀更漂亮，使用更安全；是一臺兼具美學(xué)和用戶操控體驗的全新升級產(chǎn)品；

★ 前開門真空腔體，方便取放基片、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護(hù)；

★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～25rpm連續(xù)可調(diào)；平板基底襯底可選擇加熱或水冷；

★ 更優(yōu)的薄膜均勻性和重復(fù)性，采用進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚；

★ 可沉積金屬（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有機(jī)物材料（進(jìn)口電子槍）。