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發(fā)布時(shí)間:2020-11-06 02:11  
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磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開靶被濺射出來。
種類
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對象。但有一共同點(diǎn):利用磁場與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
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靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極。平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運(yùn)動(dòng)主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線擴(kuò)展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場。但旋轉(zhuǎn)磁場需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場靜止靶源。




起動(dòng)機(jī)的保養(yǎng):
起動(dòng)機(jī)在起動(dòng)發(fā)動(dòng)機(jī)的過程中,要從蓄電池引入300~400 Ah的電量,因此為了防止蓄電池出現(xiàn)過流或損壞的現(xiàn)象,起動(dòng)時(shí)間不應(yīng)超過5s;冬季容易出現(xiàn)起動(dòng)困難的現(xiàn)象,多次起動(dòng)時(shí)每次起動(dòng)時(shí)間不宜過長,各次起動(dòng)中也應(yīng)留有適當(dāng)間隔。
起動(dòng)機(jī)故障檢查:
1、蓄電池?zé)o電或電力微弱,于是出現(xiàn)起動(dòng)機(jī)不能轉(zhuǎn)動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)緩慢的故障。
2、起動(dòng)機(jī)線頭松動(dòng)或脫落,開關(guān)或吸附開關(guān)失效。
3、電刷磨損或刷面不正,彈簧無力,以致于整流器接觸不良。
4、勵(lì)磁線圈或電樞線圈短路和斷路。
5、整流器污損,云母片凸出,造成電刷與整流器接觸不良。
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