真空滲氮有人稱為真空排氣式氮碳共滲，其特點(diǎn)是通過真空技術(shù)，使金屬表面活性化和清凈化。在加熱、保溫、冷卻的整個(gè)熱處理過程中，不純的微量氣體被排出，含活性物質(zhì)的純凈復(fù)合氣體被送入，使表面層相結(jié)構(gòu)的調(diào)整和控制、質(zhì)量的改善、效率的提高成為可能。經(jīng)X射線衍射分析證實(shí)，真空滲氮處理后，滲層中的化合物層是ε單相組織，沒有其他脆性相存在，所以硬度高，韌性好，分布也好。“白層”單相ε化合物層可達(dá)到的硬度和材質(zhì)成分有關(guān)。

不氧化、不脫碳、不增碳對(duì)工件內(nèi)部和表面有良好的保護(hù)作用。（真空熱處理爐）

氧化使金屬表面失去金屬光澤，表面粗糙度增加，精度下降，并且鋼表面氧化皮往往是造成淬火軟點(diǎn)和淬火開裂的根源，氧化使鋼件強(qiáng)度降低，其他力學(xué)性能下降。而脫碳是指鋼在加熱時(shí)表面碳含量降低的現(xiàn)象。

一般情況下，鋼的氧化脫碳同時(shí)進(jìn)行，脫碳層由于被氧化，碳含量降低會(huì)明顯降低鋼的淬火硬度、耐磨性、及疲勞性能，高速鋼脫碳會(huì)降低紅硬性。

東莞真空熱處理講述一些常見的熱處理概念：

一、正火:將鋼材或鋼件加熱到臨界點(diǎn)AC3或ACM以上的適當(dāng)溫度，保持一定時(shí)間后在空氣中冷卻，得到珠光體類組織的熱處理工藝。

二、時(shí)效：合金經(jīng)固溶熱處理或冷塑性形變后，在室溫放置或稍高于室溫保持時(shí)，其性能隨時(shí)間而變化的現(xiàn)象。

固溶處理：使合金中各種相充分溶解，強(qiáng)化固溶體并提高韌性及抗蝕性能，消除應(yīng)力和軟化，以便繼續(xù)加工成型。

時(shí)效處理：在強(qiáng)化相析出的溫度加熱并保溫，使強(qiáng)化相沉淀析出，得以硬化，提高強(qiáng)度。

（１）內(nèi)應(yīng)力塑性變形，熱處理過程中加熱冷卻的不均勻和相變的不等時(shí)性，都會(huì)產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，在一定塑性條件的配合下，就會(huì)產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力塑性變形。在加熱和冷卻過程中，零件的內(nèi)外層加熱和冷卻速度不同造成各處溫度不一致，致使熱脹冷縮的程度不同，這樣產(chǎn)生的應(yīng)力變形叫熱應(yīng)力塑性變形。在加熱和冷卻過程中，零件的內(nèi)部組織轉(zhuǎn)變而發(fā)生的時(shí)間不同，這樣產(chǎn)生的應(yīng)力變形叫組織應(yīng)力變形塑性變形。（２）體積變形，比容變形在熱處理過程中，各種相結(jié)構(gòu)的組織比容不同，在相變時(shí)發(fā)生的體積和尺寸變化為比容變形。比容變形一般只與奧氏體中碳和金元素的含量、游離相碳化物、鐵素體的多少、淬火前后組織比容變化差和殘余奧氏體的多少和鋼的淬透性等因素有關(guān)。