微波加熱原理和影響因素：外加電場的變化頻率越高，分子擺動就越快，產(chǎn)生的熱量就越多；外加電場越強，分子的振幅就越大，由此產(chǎn)生的熱量就越多；與物料的種類及性質(zhì)有關(guān)：如物料的密度大，溫度升高慢；物料的比熱容大，溫度升高慢。微波加熱設(shè)備的基本構(gòu)成：電源、微波管、連接波導(dǎo)、加熱器及冷卻系統(tǒng)等。微波加熱設(shè)備的基本類型：箱式、隧道式、平板式、曲波導(dǎo)式和直波導(dǎo)式。1、箱式微波加熱器適于非連續(xù)化加熱；2、隧道式微波加熱器；3、波導(dǎo)型微波加熱器：波導(dǎo)型加熱器（行波場波導(dǎo)加熱器）──即在波導(dǎo)的一端輸入微波，在另一端有吸收剩余能量的水負載，這樣使微波能在波導(dǎo)內(nèi)無反射地傳輸，構(gòu)成行波場。4、輻射型微波加熱器：輻射型加熱器是利用微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波通過一定的轉(zhuǎn)換裝置，再經(jīng)輻射器（照射器、天線等）向外輻射的一種加熱器。5、慢波型微波加熱器：該加熱器是一種微波沿著導(dǎo)體表面?zhèn)鬏數(shù)募訜崞?。因為它傳送微波的速度比空間傳送慢，所以叫做慢波加熱器。6、微波真空干燥箱：將微波加熱與真空干燥相結(jié)合的干燥方法,叫做微波真空干燥法。

微波加熱技術(shù)應(yīng)用范圍極廣闊，微波加熱技術(shù)在食品加工中應(yīng)用僅是其中的一小部分?？梢赃@樣說，人們在認識微波加熱特點的過程中，同時正在與現(xiàn)有技術(shù)相結(jié)合去開發(fā)出越來越多的新裝置和儀器。例如，微波爐和冰箱的組合冰箱；微波水壺和微波卷發(fā)器，微波加熱和洗衣機組合的微波烘干、洗衣機；微波熱水器，低溫水分測量儀等。微波加熱技術(shù)的發(fā)展與人們的認識和掌握，以及市場需求是密切相關(guān)的。其中完善微波加熱設(shè)備和加工工藝尤為關(guān)鍵。

微波的特性決定了微波加熱設(shè)備的優(yōu)勢:（1）加熱迅速，均勻。不需熱傳導(dǎo)過程，且具有自動熱平穩(wěn)性能，避免過熱。（2）加熱質(zhì)量高，低溫加熱（3）安全衛(wèi)生無污染（4）節(jié)能。由于含有水分的物質(zhì)極易直接吸收微波而發(fā)熱，沒有經(jīng)過其他中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，因此除少量的傳輸損耗外幾乎無其他損耗。比一般常規(guī)加熱省電約30%～50%。

一種低溫多晶硅制備方法及微波加熱設(shè)備.其中,該低溫多晶硅的制備方法包括:提供一基板;在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層;進行微波加熱,將所述非晶硅層晶化為多晶硅層;其中,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之前,和/或,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之后以及在進行微波加熱將所述非晶硅層晶化為多晶硅層之前,還包括:形成晶化誘導(dǎo)膜.本發(fā)明實施例提供的低溫多晶硅制備方法和微波加熱設(shè)備,可以解決常規(guī)多晶硅退火工藝晶化均一性低,工藝難度大,產(chǎn)品良率低的問題,使多晶硅制備溫度有效降低,晶粒也更加均勻,同時,可以降低制備工藝難度和設(shè)備成本,獲得成本更低,品質(zhì)更高且良率更高的多晶硅產(chǎn)品.