精密活塞桿表面處理的加工方法之一：真空法

這種方法是在高真空狀態(tài)下令材料氣化或離子化沉積于工件表面而形成鍍層的過程。其主要方法是。

（一）物理氣相沉積（PVD）

在真空條件下，將金屬氣化成原子或分子，或者使其離子化成離子，直接沉積到工件表面，形成涂層的過程，稱為物理氣相沉積，其沉積粒子束來源于非化學(xué)因素，如蒸發(fā)鍍?yōu)R射鍍、離子鍍等。

（二）離子注入

高電壓下將不同離子注入工件表面令其表面改性的過程，稱為離子注入，如注硼等。

（三）化學(xué)氣相沉積（CVD）

低壓（有時也在常壓）下，氣態(tài)物質(zhì)在工件表面因化學(xué)反應(yīng)而生成固態(tài)沉積層的過程，稱為化學(xué)氣相鍍，如氣相沉積氧化硅、氮化硅等。

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在一般情況下，合金元素越多，零件形狀越復(fù)雜，淬火和回火之間的間隔越短。例如低碳馬氏體鋼的活塞桿由于淬火組織應(yīng)力很小且有良好的強韌性，不及時回火也問題不大，甚至于可以不回火直接使用。而對于中碳鋼的活塞桿來說，由于淬火組織應(yīng)力較小并且具有較好的強韌性，因此就算是不及時回火，問題也不是很大，就是時間不能間隔太長，時間太長不穩(wěn)定組織發(fā)生變化，附加在內(nèi)應(yīng)力上會導(dǎo)致增加變形開裂的危險。因此，及時回火，不能及時回火的也不應(yīng)該超過24小時。常見的是用于液壓系統(tǒng)或者是氣壓系統(tǒng)中，并且的它的表面，一般會進行鍍鉻處理，這樣就可以保證其在使用的過程中可以不用生銹。