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發(fā)布時(shí)間:2021-09-28 18:41  
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一、當(dāng)氫能作為一種燃料時(shí),必然具有分散性及間歇性使用特點(diǎn),因此必須解決儲(chǔ)存及運(yùn)輸問(wèn)題。儲(chǔ)氫、輸氫技術(shù)要求能量密度大,儲(chǔ)氫及放氫所耗能量少、安全性好,并符合車載狀況的要求等。目前均已試驗(yàn)了以高壓氫、儲(chǔ)氫材料儲(chǔ)氫和液氫為燃料的樣車,已使燃料電池電動(dòng)車實(shí)現(xiàn)了真正的排放。
建立氫供給的公用設(shè)施方面,美國(guó)加得、加利福尼亞州已決定年秋在西薩克拉蒙多建造氫氣加注站,為在城市試驗(yàn)的臺(tái)質(zhì)子交換膜燃料電池為動(dòng)力的電動(dòng)車加注燃料。日本也有這方面的計(jì)劃準(zhǔn)備實(shí)施。但好的方法是利用重整制氫技術(shù),這樣可利用現(xiàn)有的加注的公用設(shè)施,不必新建燃料的供給設(shè)施,進(jìn)行復(fù)雜的改造,而且的能量要比天然氣和甲醇高。該項(xiàng)技術(shù)如果得以突破,則以質(zhì)子交換膜燃料電池為動(dòng)力的電動(dòng)車可與內(nèi)燃機(jī)車共用加油系統(tǒng)。


氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無(wú)油,有毒氣體使用時(shí)不可放在屋內(nèi),要有專門的氣體放置區(qū),腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲(chǔ)存區(qū)要嚴(yán)禁明火、嚴(yán)禁吸煙。
一、氣體和氧化性氣體使用時(shí)使用人員千萬(wàn)不可自己混合,如需混合氣體需有技術(shù)條件的廠家來(lái)提供。
二、 氣體使用時(shí)所能接觸的材料,不能有和此種氣體不相容或起反應(yīng)的材料。
三、使用人員要按照所使用氣體質(zhì)做的性必要的防護(hù)措施(穿戴護(hù)照的安全眼睛、防毒面具、相應(yīng)材料的防護(hù)服、皮手套等),廢氣要按照合適的方法處理。
四、氣體要在保質(zhì)期內(nèi)使用,不可超期使用。
五、 氣體使用期間,如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題應(yīng)立即停止使用,待問(wèn)題調(diào)查清楚并解決后方可繼續(xù)使用,如屬于氣體性質(zhì)原因所引起,應(yīng)終止使用,把剩余氣體按合適方法處理

隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級(jí)進(jìn)人到亞微米(小于1um)級(jí)以及深亞微米(小于0.18um)級(jí),這樣,對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來(lái)越高,對(duì)這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對(duì)超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體制造的整個(gè)過(guò)程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過(guò)吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對(duì)其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
