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發(fā)布時間:2021-04-30 11:30  
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集成電路制造行業(yè)VOCs主要來源
集成電路制造行業(yè)VOCs來源主要集中在揮發(fā)性的使用、載運、儲存。載運過程包括的原料載入及廢的載出過程,溶劑儲罐與槽車之間的接口等處揮發(fā)。的儲存主要包括儲罐儲存,化學品桶裝儲存及瓶裝儲存。儲罐的排氣、儲存過程中的不密封或意外泄露也是VOCs的來源。
活性炭吸附法
吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅膠、分子篩等)來處理有機廢氣