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發(fā)布時間:2021-09-14 07:51  
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流量控制器的主要優(yōu)點是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動化
質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。
(3) 地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應用。怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作,有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。
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使用流量控制器害怕什么?
怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;
怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進行干燥處理;
怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。
流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化2、寬量程比,可達100:13、高達0。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其基本技術(shù)指標已達到先進水平,每臺傳感器都由不銹鋼材料制造,多種輸出能滿足您的各種需求。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。
什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。若作測脈動流測量,應了解TMF的響應性,以保證能跟隨的上脈動的速度變化。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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