高溫束源爐介紹

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束源爐是一種蒸發(fā)鍍膜裝置是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，使坩堝中被蒸發(fā)物在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，可用于鍍半導體、金屬膜，氧化物、納米級單層及多層功能膜的連續(xù)沉積。

加熱，溫度測量控制重復性好，并且可以準確調節(jié)。鉭燈絲的優(yōu)化設計確保了加熱穩(wěn)定性，即使在極限溫度下也可以具有很長的使用壽命。 

加熱樣品臺的設計原理

設計原理為：將樣品槽設置在中空腔中，中空腔中通入熱空氣對樣品槽進行加熱，從而對樣品進行傳熱加熱，而隨著熱空氣裝置不斷向中空腔中通入空氣，中空腔中的壓力會增大，從而通過泄壓口向氣管排氣，排出的氣體會通過氣管到達多孔頭，從而對樣品容器通入熱空氣，一方面熱空氣對樣品容器中的樣品進行加熱，另一方面還能起到空氣攪拌的作用。表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

熱空氣裝置包括空壓機、加熱箱和管道，空壓機通過所述管道與所述加熱箱連通，加熱箱通過管道與所述中空腔連通，空壓機產(chǎn)生的空氣通過管道進入到加熱箱中進行加熱，并經(jīng)管道通入到中空腔中。

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靶材提純方法

超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術之超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術之

濺射工藝用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體 是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

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濺射靶材的作用是什么？

濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子 ,在真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。我們把厚度低于1um的膜層叫薄膜，厚度高于1um的膜叫厚膜鍍膜工藝是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法。