氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，

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氦質(zhì)譜檢漏儀是借鑒了國(guó)外的先進(jìn)檢漏技術(shù)以及多年質(zhì)譜生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)而成。氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口部件，性能穩(wěn)定可靠。氦質(zhì)譜檢漏儀不但靈敏度高，并且操作方便，能夠進(jìn)行雙燈絲自動(dòng)切換、系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)及自動(dòng)量程切換，目前已經(jīng)達(dá)到水平。

高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測(cè)試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁(yè)面，以及可選功能組件。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)