無(wú)油真空泵在購(gòu)買時(shí)需要注意什么呢？一般我們?cè)谫?gòu)買的時(shí)候不怎么注意無(wú)油真空泵的選型，但是這往往會(huì)導(dǎo)致后期會(huì)產(chǎn)生各種麻煩等等。所以下面我們就來(lái)詳細(xì)介紹下在選擇無(wú)油真空泵時(shí)需要注意什么。

1、正確地組合無(wú)油真空泵。由于無(wú)油真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的無(wú)油真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的無(wú)油真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。

2、無(wú)油真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺(tái)耐粉塵，維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。

無(wú)油節(jié)能真空泵主要由機(jī)械傳動(dòng)部分、機(jī)械抽氣部分和隔油部分組成，機(jī)械傳動(dòng)部分分為曲柄和連桿機(jī)構(gòu)，由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)皮帶輪，替代無(wú)油節(jié)能真空泵報(bào)價(jià)，然后通過曲軸、連桿、十字頭傳遞給活塞，由皮帶輪的圓周運(yùn)動(dòng)變?yōu)榛钊闹本€運(yùn)動(dòng)。泵機(jī)械抽氣部分主要依靠活塞在汽缸內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)完成。

一體式真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有可擴(kuò)充，易于維護(hù)，噪聲低，占地面積小等顯著特點(diǎn)。手動(dòng)自動(dòng)運(yùn)行的臥式中央式真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含無(wú)油旋片式和單級(jí)油封旋片真空泵，一個(gè)碳鋼臥式真空儲(chǔ)氣罐，電磁閥，替代無(wú)油節(jié)能真空泵，一套手動(dòng)自動(dòng)PLC電氣控制箱，過濾精度2微米的紙質(zhì)濾芯過濾器，數(shù)字式真空開關(guān)等管路組成。