流量控制器分類

熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計(jì)，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時(shí)不宜選用，這是接觸式的缺點(diǎn)。倘若液體中含有懸浮顆粒物，抽濕過程可能會(huì)留下固體顆粒，從而導(dǎo)致質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)留有殘?jiān)?

2．非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計(jì)的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點(diǎn)。

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什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。舉個(gè)例子，容許范圍2%表示流量波動(dòng)在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。國際標(biāo)草案ISO/DIS11451認(rèn)為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

怎樣選擇流量顯示單位？

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當(dāng)顯示值為80%時(shí)，實(shí)際的流量為40SCCM。③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會(huì)引起儀表測量度的下降，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致儀表損壞。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習(xí)慣。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時(shí)對流量顯示的范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時(shí)顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正。