排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小?，F(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展，同時(shí)帶動(dòng)了社會(huì)各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個(gè)行業(yè)為例，在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。

凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。設(shè)計(jì)合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積，用以安置設(shè)備、物料，便于操作和維修。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器。

直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展，這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的，現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可，在我們國家，這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā)，相信在不久的未來，我們國家的相關(guān)科研人員一定會(huì)在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績，為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間"