高純氣體充裝的抽空操作

一、開啟真空泵，同時抽空匯流排，負(fù)壓值≥0.1MPa，繼續(xù)抽真空15~30min，關(guān)閉抽空管道截止閥后，停止真空泵

二、緩慢開啟抽空總閥，不要讓泵油外溢

三、真空表指示值<-0.1MPa

四、抽空5~15分鐘后

五、關(guān)閉抽空總閥

六、開啟通氣閥，不要抽空管路過油

七、關(guān)閉真空泵，抽空結(jié)束。

高純?nèi)幕A(chǔ)介紹及行業(yè)應(yīng)用

危險概述：

三氟化氮是低毒性物質(zhì)，但是它能強(qiáng)烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導(dǎo)致我們的各項(xiàng)努力全部失去意義。與物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。

受高熱發(fā)生劇烈分解，甚至發(fā)生。大鼠吸入1000ppm·l小時末見，但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥，當(dāng)吸入10000ppm·l小時有，在2500ppm時后4小時。容許濃度：10ppm(29mg/m3)。

消防措施：

強(qiáng)氧化劑。受熱或與火焰、電火化、有機(jī)物等接觸能燃燒，甚至。與物（如苯）和可燃物（如糖、纖維素等）接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。