長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù)，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計，能滿足配合客戶實驗上的各種質(zhì)量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進(jìn)樣門，鉸鏈機(jī)構(gòu)，移動靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；

4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進(jìn)入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；

以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品，歡迎新老客戶蒞臨。

真空腔體的焊接原則

超高真空腔體的弧焊接，原則上必須采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。

真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物，成為影響真空度的放氣源。為實現(xiàn)超高真空，要對腔體進(jìn)行150——250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。

真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

工藝室的抽氣速率將低于泵入口的抽氣速率，相差多少取決于抽氣管道的屬性(例如長度和尺寸)。盡量降低工藝室和泵入口之間的壓力差就可以使抽氣速率損失減到少。

顯然，抽氣管道的屬性對于性能十分關(guān)鍵。此時還需要考慮其它因素：流導(dǎo)。

我們采用流導(dǎo)(阻力的倒數(shù))這一術(shù)語來定義“管道傳遞流動的能力”。流導(dǎo)的計量單位是每單位時間的體積并且和抽氣速率的單位相同。工藝室抽氣速率(S)可用抽氣管道流導(dǎo)(C)和應(yīng)用泵速(Sp)計算，如下所示：

S = (Sp*C)/(Sp C)

當(dāng)C遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于Sp時，則S近似為Sp；當(dāng)Sp遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于C時，則S近似為C。真空腔體

工藝室的抽氣速率始終低于應(yīng)用泵速而且低于抽氣管道中部件的小流導(dǎo)(通常為小直徑)。

在某種程度上管道短而粗是好的

采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導(dǎo)是不錯的做法，但只限于當(dāng)抽氣速度S接近泵速(Sp)極值的情況。

除此之外，通過增加管道直徑(成本也會相應(yīng)增加)來增加流導(dǎo)并不能顯著提高工藝室抽氣速率；換而言之，如果抽氣管道流導(dǎo)受限并且由于物理因素不能增加，當(dāng)(S)接近管道流導(dǎo)(C)極值，一味通過增加應(yīng)用泵速來提高工藝抽氣速度也是不經(jīng)濟(jì)的。