根據(jù)加工方法的機(jī)理和特點(diǎn)，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機(jī)理、方法、強(qiáng)弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動(dòng)加工，利用力、熱、分子運(yùn)動(dòng)等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

電容式非接觸式測(cè)微儀，通過電容測(cè)頭可以測(cè)量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度為納米級(jí)。測(cè)微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測(cè)量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測(cè)量。

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。