無塵車間怎么設(shè)置壓差才能防止污染

    無塵車間怎樣設(shè)置壓差才能防止污染： 無塵車間想要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝，建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施，不但要有合理的凈　

     無塵車間想要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝，建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施，不但要有合理的凈化工程設(shè)計(jì)，而且還要精心的箱合規(guī)范的無塵車間施工安裝，以及正確的使用無塵車間和科學(xué)的維護(hù)管理。

    另外防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵車間傳播污染的主要方法是：維持高潔凈度區(qū)域相對(duì)于服務(wù)區(qū)域，服務(wù)區(qū)域相對(duì)于室外有一個(gè)合適的正壓值，根據(jù)不同的情況，不同級(jí)別相鄰房間的正壓差約為5-10PA。讓不同潔凈度的各級(jí)房間維持梯次的壓差，目的是當(dāng)房間門處于關(guān)閉情況時(shí)，通過縫隙的氣流流向是由高1級(jí)別無塵室流向低級(jí)別無塵車間、由低級(jí)別無塵車間流向走廊和服務(wù)區(qū)，再流向室外，這樣就可減少由室外向服務(wù)區(qū)域、服務(wù)區(qū)域向低級(jí)別無塵車間，低級(jí)別無塵車間向高1級(jí)別無塵車間傳播空氣中的懸浮污染物。⑵臭氧殺菌凈化臭氧的應(yīng)用在近幾年來越來越廣泛，因?yàn)槌粞醣旧淼难趸詮?qiáng)，可以在短時(shí)間內(nèi)破壞細(xì)1菌、病毒和其他微生物的生物結(jié)構(gòu)，達(dá)到殺菌祛味的作用。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)，圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級(jí)耐磨塑

3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

?潔凈室中的溫濕度控制

   濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒，常用作凈化工程中多級(jí)除塵器的di一級(jí)除塵。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)jia溫度范圍為35—45%。 

?潔凈室中的氣壓規(guī)定

    對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。