傳統(tǒng)過(guò)濾器因?yàn)樾屎蛪航祮?wèn)題，不僅自身需要頻繁更換，且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng)由于無(wú)需自動(dòng)過(guò)濾器，機(jī)組壓力適中保持在15-20Pa，不消耗風(fēng)能。例如：一個(gè)約有1120m3空間欲做10萬(wàn)等級(jí)的無(wú)塵車間，采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(jī)(造的起，用得起)，傳統(tǒng)模式需18KW主機(jī)。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測(cè)數(shù)據(jù)等同于新機(jī)效果，開(kāi)機(jī)時(shí)間持續(xù)越長(zhǎng)潔凈度越高，這是傳統(tǒng)技術(shù)無(wú)法比擬的。

　然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)

符合以下原則：

　　1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

　　2、相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

　　3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

潔凈車間表面光滑，盡可能減少集塵面，輪廓簡(jiǎn)潔。潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)合理確定廠房的耐火等級(jí)、屋頂、墻面等材料的耐火極限以及防火通道的配置。考慮到生產(chǎn)工藝、配風(fēng)、管道敷設(shè)、照明、建筑空間處理等因素，確定合適的斷面形式和層高，以節(jié)約能源，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，降低成本。清潔車間的內(nèi)部設(shè)計(jì)應(yīng)營(yíng)造愉快的心理環(huán)境，減少抑郁的感覺(jué)。