多軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控系統(tǒng) 的精度主要從單個(gè)伺服 軸的運(yùn)動(dòng)控制精度和聯(lián) 動(dòng)軸耦合輪廓精度 2 方 面來評價(jià)。至于可實(shí)現(xiàn)大型復(fù)雜曲面，特別是自由曲面的納米級(jí)超精密加工的五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床，至今仍是一個(gè)世界上尚未解決的難題。對于單個(gè)伺服軸的運(yùn)動(dòng) 控制，當(dāng)要求的運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到納米級(jí) 時(shí)，傳統(tǒng)的超精密機(jī)床傳動(dòng)方式在 低速、微動(dòng)狀態(tài)下表現(xiàn)出強(qiáng)非線性特 性，常規(guī)的運(yùn)動(dòng)控制策略已經(jīng)很難保 證伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)理想的納米級(jí)隨動(dòng) 精度。

此外，多軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)的輪廓誤差 由各伺服軸的運(yùn)動(dòng)誤差耦合得到， 耦 合誤差的建模及各軸相應(yīng)的補(bǔ)償控制量的計(jì)算都需要大量的齊次坐標(biāo) 變換運(yùn)算，這為實(shí)際的多軸聯(lián)動(dòng)耦合 控制器的設(shè)計(jì)帶來了很大的不便。 智能控制理論與方法將可能為此問 題提供理想的解決方法。RENISHAw的SP80超高精度數(shù)字式掃描測頭，分辨率為0。此外，要實(shí) 現(xiàn)多軸聯(lián)動(dòng)納米級(jí)輪廓控制精度， 還 有一個(gè)不可忽視的問題，即聯(lián)動(dòng)軸的 同步問題。同步精度的高低直接影 響到系統(tǒng)的輪廓跟蹤精度。嚴(yán)格意 義上的多軸伺服系統(tǒng)同步涉及到復(fù) 雜的數(shù)控和伺服系統(tǒng)接口規(guī)范的制 定。目前，在可以實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)加工 的高ji多軸聯(lián)動(dòng)超精密數(shù)控機(jī)床研 制方面，我國尚未取得突破性進(jìn)展。 至于可實(shí)現(xiàn)大型復(fù)雜曲面，特別是自 由曲面的納米級(jí)超精密加工的五軸 聯(lián)動(dòng)機(jī)床，至今仍是一個(gè)世界上尚未 解決的難題。

位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過程中的移動(dòng)有關(guān)的量，位移的測量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。由于作為確定位置的活動(dòng)磁環(huán)和敏感元件并無直接接觸，因此傳感器可應(yīng)用在極惡劣的工業(yè)環(huán)境中，不易受油漬、溶液、塵?；蚱渌廴镜挠绊?，IP防護(hù)等級(jí)在IP67以上。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率高的可達(dá)到納米級(jí)）、抗干擾能力強(qiáng)、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。

納米級(jí)位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，位移傳感器超聲波式位移傳感器，k和納米位移計(jì)。

電感式位移傳感器KD5100是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，接通電源后，在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場，當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量，使振蕩器輸出幅度線性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。伺服傳動(dòng)、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)需消除一切非線性因數(shù)，特別是具有非線性特性的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)摩擦等效應(yīng)。