真空機(jī)組介紹

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真空機(jī)組是將真空泵與相應(yīng)的真空元件按其性能要求組合起來構(gòu)成的抽氣裝置。其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,安裝使用方便。

真空抽氣機(jī)組可分為低真空抽氣機(jī)組、中真空抽氣機(jī)組、高真空抽氣機(jī)組、超高真空抽氣機(jī)組、無油真空抽氣機(jī)組等。真空機(jī)組的名稱以主泵命名。

真空機(jī)組安全風(fēng)險管控措施分析

1、容器炸裂管控措施分析

真空機(jī)組排氣過濾器應(yīng)用足夠大的容量以保證真空泵在大的抽氣量的條件安全運(yùn)行。提供措施確保其過濾器在飽和或阻塞情況下不會導(dǎo)致泵入口壓力超過其允許的高工作壓力。在泵的排氣口處或真空系統(tǒng)內(nèi)積累的碎片無法避免時，應(yīng)配排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥。

2、其他事故管控措施分析

1）真空機(jī)組中各種泵所需冷卻介質(zhì)以及水環(huán)泵工作液的供給管路配備斷液報警裝置。

2）真空機(jī)組安裝應(yīng)急停止設(shè)備裝置，在發(fā)生緊急情況時能及時關(guān)停設(shè)備。

真空機(jī)組的構(gòu)成與分類

真空機(jī)組一般由下列元件構(gòu)成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。

按機(jī)組的工作壓力分，有粗真空機(jī)組(>1330Pa)；低真空機(jī)組(1330~0.13Pa)；高真空機(jī)組(0.13~1.3×10-6 Pa)；如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫?，能獲得10-11Pa的超高真空。超高真空機(jī)組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機(jī)組(<1.2×10-11 Pa)。