無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

　  氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。

    無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節(jié)省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環(huán)境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。(2)室內氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流。

  在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　　無塵室內防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經普遍。