隨著我國工業(yè)的發(fā)展和改革開放的不斷深入，主要跨國氣體公司都紛紛進(jìn)入中國，美國空氣化工、法國液化空氣、德國林德、普萊克斯、日本大陽日酸、日商巖谷氣體公司等已占領(lǐng)我國部分特氣市場，尤其是電子氣體市場，合資和獨(dú)資的半導(dǎo)體集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝中所使用的電子氣體被這些國外氣體公司所壟斷，這與半導(dǎo)體集成電路對氣體質(zhì)量、供應(yīng)的特殊要求有關(guān)。

2010-2017年石油加工及煉焦業(yè)城鎮(zhèn)固定資產(chǎn)投資總額變化情況（單位：億元，%）

2 冶金工業(yè)總體保持增長 特種氣體需求進(jìn)一步擴(kuò)大

2011-2016年，常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)?？傮w呈增長趨勢，根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測分析報告》初步估算，2017年超過22000億元，對特種氣體的需求進(jìn)一步擴(kuò)大。

2011-2017年常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)模變化（單位：億元，%）

半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體的分類

在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，需要使用到很多高純氣體，這是普通氣體的提純，具體可以分為以下幾類：

特種氣體：sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它們與氮、氬、氫、氦的混合氣體等，若以上述半導(dǎo)體使用時危險性的分類,可分為:

一、可燃、自燃、可燃?xì)怏w,在空氣等助燃?xì)怏w中點(diǎn)火就會燃燒,可燃、氣體都有一定的火燃燒范圍,此范圍越大的氣體則危險越高,屬于此類氣體如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等；