潔凈凈化技術之凈化車間的微振控制方案

對于微振控制要求的潔凈廠房在設計時應該考慮哪些問題呢？

1.       在結構選型，隔振縫設置，壁板與地面級頂棚連接處，應按微振控制要求設計。

2.       潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈震動的設備及其連接管道，應采取主動隔振措施。

3.       應確定潔凈廠房內各類振源對潔凈廠房精密設備，精密儀器儀表位置處的綜合震動影響，以決定是否采取被動隔振措施。

另外在凈化車間的結構材料上應具備以下幾點 ：

　　①凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造

　?、诘孛婵刹捎铆h(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型

　?、鬯突仫L管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板

      ④送風口宜用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用不銹鋼框架（或者冷板烤漆），不生銹不粘塵，宜清潔。

對有防靜電環(huán)境要求的凈化工程常用的幾種辦法

  1、選用合適的材料：

   凈化工程裝修要采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

   2、接地：

   接地是帶電導體消除靜電為普遍、經濟、簡便、可靠的方法。

   (1)凈化工程內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。

   (2)凈化工程的圍護結構(吊頂、地面、墻、柱)應采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。

   (3)工藝設備接地。

   (4)辦公設備應采用能防靜電的材料制成并接地。

   (5)凈化工程工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。

凈化車間施工的注意事項

　　一、制定凈化車間施工程序表

　　建設凈化車間有先后的順序，杜絕哪部分材料先到就先施工哪部分的極端錯誤做法，避免污染。允許同時施工的各部分要注意彼此間的銜接關系，必要時應繪制施工二次設計圖。

　　二、過濾器的安裝

　　凈化車間安裝過濾器之前，應徹底做好清潔工作，凈化送、回風系統(tǒng)連接試運行24小時后，再次清潔潔凈室后，立即安裝過濾器。

　　潔凈送、回風系統(tǒng)風管的施工：風管內表面必須平整光滑，風管安裝之后、保溫之前應進行漏風檢查。風管與部件支、吊架的預埋件或膨脹螺栓的位置應正確，牢固可靠，埋入部分應去除油污，并不得涂漆。

　　三、設置專用倉儲間

　　所有材料和設備說明書和合格證均應妥善保管，以便竣工驗收后將資料完整的移交給用戶。設備和材料到達凈化車間施工現(xiàn)場時，應嚴格檢查，各種過程器開箱檢查后應重新封存。

怎樣維護好潔凈室工程

      在無塵車間中，由于靜電的不良影響，會導致微粒污染，靜電放電（ESD）以及設備故障等問題?，F(xiàn)代的過濾技術可以防止絕大部分的外部粉塵進入潔凈室。但是，在潔凈室內部，粉塵依然會在工作人員，生產設備以及部分生產過程中產生。令人遺憾的是，通常這些粉塵源都會比較靠近產品。如果物體表面帶了靜電，由于靜電吸引就會吸附在潔凈室層流中傳播的粉塵。亞微米級的塵粒會影響到高科技產品的質量，它們一旦被吸附，產品表面就很難清除。

      靜電放電也會產生電磁干擾（EMI）現(xiàn)象。這將會妨礙到產品設備（特別是基于微處理器的機器人技術）的正常工作。發(fā)生在某部分設備上的靜電放電，也可能會影響到附近其他設備的運轉，這樣就很難找出問題出在什么地方。 一個的污染控制流程，必須將靜電問題作為潔凈室污染的一種類型，將其測量和處理納入其中。