真空鍍膜設備選購要點分析

真空鍍膜設備選購要點分析如下：

1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。

2、根據工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

3、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉 自轉方式，用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求，轉動的速度范圍及轉動精度：普通可調及變頻調速等。

4、真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

5、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等），真空測量可選擇數字式智能真空計及其的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。

6、充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 針閥及相應的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。

7、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。

8、根據設備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

9、完善的報警系統(tǒng)，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

真空鍍膜機對環(huán)境的要求

真空鍍膜機在使用的時候，難免會因為使用的問題使得真空鍍膜機沾上其他污染物，所以經常清洗真空鍍膜機也成為保養(yǎng)機器的一個重要部分，在真空鍍膜機使用鍍膜材料鍍膜之前，對鍍膜材料做簡單的表面清潔能延長鍍膜機使用壽命，因為各種污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度，還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。

一般在使用中，真空鍍膜機常見的污染物有：

1、油脂包括加工、裝配、操作的時候沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；

2、操作時候的手汗，吹氣的時候的水汽和唾液等等；酸、堿、鹽類物質清洗時的殘余物質、手汗、水中的礦物質等；還有拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物。

清潔這些污染物可以改進真空鍍膜機工作穩(wěn)定性，使工作可以更順利的進行。

真空鍍膜機設計安全

安全保護系統(tǒng)對任何儀器設備都是很重要的。為保證整機設備和人身安全，對于用戶來說，我們設計分配了2級的安全級別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數。

不論是工作在自動工作方式，還是手動維護方式，輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作，我們設計了互鎖電路和程序互鎖的2級互鎖。條件不充分按錯鍵時，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數的安全區(qū)域報警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動作，分別實現各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設定流量時，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復后流量轉為正常，綠色指示燈亮。但當流量低于設定的下限時，紅燈點亮報警，停止工藝進程

鍍膜機通過用戶的使用和生產，證明整個程序化自動控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。

控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數據查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復性好，光學減反射膜層的透射率等性能指標完全符合航天GaAs太陽電池的要求，并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。

盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機的發(fā)展在國內已有幾十年，技術雖不斷提高，但比較國外先進技術還有一定差距。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機所應用的控制技術國際上雖然不是很新的技術，但此方面控制系統(tǒng)的應用，在國內生產的真空應用設備上還很少，且要能長期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國內真空行業(yè)在真空應用設備上的整體發(fā)展水平相關的。