浙江美兆-凈化車間——電子廠凈化車間改造工程

進(jìn)入凈化車間必須穿著無(wú)塵衣.

不得使用容易產(chǎn)生灰塵的材料、設(shè)備、備品等.使用凈化車間用品.(無(wú)塵紙、無(wú)塵本、圓珠筆等)減少?zèng)]必要的人員的活動(dòng)、設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn).制定設(shè)備的擺放結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案.沒(méi)必要的物品禁止帶入到凈化車間.凈化車間中禁止i脫無(wú)塵衣.凈化車間內(nèi)物品數(shù)量限制在少的限度.物品擺放作出規(guī)定,減少空氣亂流. 電子廠凈化車間改造工程

經(jīng)常使用到。熒光燈在紫外線光譜內(nèi)產(chǎn)生一定能量，對(duì)于一些凈化車間內(nèi)的制程是有害的，過(guò)濾UV 可以使用燈罩遮蔽，但是這種遮蔽會(huì)轉(zhuǎn)換成可見光至黃色，雖然這種遮蔽僅能降低10%到20%照明度，但由于顏色的偏差，所察覺到的照明度看起來(lái)比較少。照明燈內(nèi)需要安定器來(lái)來(lái)產(chǎn)生燈泡所需要的啟動(dòng)電壓與操作電流，使用在安定器的技術(shù)為電磁式和電子式。 電子廠凈化車間改造工程

因此在凈化車間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。 電子廠凈化車間改造工程