用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩(wěn)定、易分解的強氧化劑，因此要現(xiàn)場制造。工業(yè)廢水的有效治理應遵循如下原則：（1）最根本的是改革生產(chǎn)工藝，盡可能在生產(chǎn)過程中杜絕有毒有害廢水的產(chǎn)生。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發(fā)生器和氣水接觸設備組成。目前大規(guī)模生產(chǎn)臭氧的方法是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。原料氣必須經(jīng)過除油、除濕、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產(chǎn)率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10～20毫克/升；用氧氣制成臭氧的濃度為20～40毫克/升。這種含有1～4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。臭氧發(fā)生器所產(chǎn)生的臭氧，通過氣水接觸設備擴散于待處理水中，通常是采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等。臭氧的利用率要力求達到90%以上，剩余臭氧隨尾氣外排，為避免污染空氣，尾氣可用活性炭或霍加拉特劑催化分解，也可用催化燃燒法使臭氧分解。