氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦質(zhì)譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質(zhì)譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

3、標(biāo)準(zhǔn)漏孔：一般氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用條件

氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是氦質(zhì)譜檢漏儀的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30cm的通風(fēng)間距。

放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用的針對機(jī)械泵型號的油。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

單晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空爐 ，鍍膜機(jī)，互感器，避雷器，C-GIS組合電器，電力開關(guān)，真空滅弧室，高真空閥門 ，LED外延片，出口滅火器，X射線管，石化換熱器，磁流體，密封繼電器，氣體流量計(jì) ，隔膜壓力變送器 ，氣體發(fā)生器  ，ITO鍍膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，壓力容器  ，化工容器，低溫儲(chǔ)罐  ，LNG 低溫氣瓶 ，玻璃燒結(jié)件，陶瓷密封連接器 ，陶瓷燒結(jié)件 ，TO封裝 ，高真空排氣臺，真空凍干機(jī) ，光器件，石英晶體諧振器，高壓開關(guān)，換熱器，電真空器件，SF6管路，波紋管，ITO設(shè)備，半導(dǎo)體，輻照電線電纜 交聯(lián)電線電纜，真空釬焊，真空熱處理等。