氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

檢漏步驟為: 極限壓力、升壓率都不合格 這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點(diǎn)，檢漏步驟為: . 1.用內(nèi)徑0.5mm左右的針頭從機(jī)械泵到爐體快速的噴吹一遍，會(huì)很快發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)，這時(shí)發(fā)現(xiàn)的漏點(diǎn)都較大，然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會(huì)明顯提高。 2.第二遍檢漏，進(jìn)行第二遍檢漏時(shí)速度要較遍慢些， 重點(diǎn)檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動(dòng)密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

采用試驗(yàn)件對(duì)機(jī)翼整體油箱漏率進(jìn)行摸索，整體油箱試驗(yàn)件檢漏總體上分為兩個(gè)部分: -是粗漏漏點(diǎn)檢測(cè)與工藝修補(bǔ);二是氦質(zhì)譜細(xì)漏檢測(cè),粗漏檢測(cè)過程涉及的主要設(shè)備有壓縮空氣氣源、自動(dòng)配氣平臺(tái)、控制閥等。試驗(yàn)時(shí)，首先接通壓縮空氣氣源，啟動(dòng)整體油箱快速檢漏設(shè)備，設(shè)定充氣氣壓。充氣過程結(jié)束后，穩(wěn)壓15min, 觀測(cè)檢漏設(shè)備上的壓降曲線，確定是否存在粗漏。若壓降明顯，說明有粗漏漏點(diǎn)存在。經(jīng)肥皂泡方法確定粗漏漏點(diǎn)位置后，利用涂密封膠的方法對(duì)粗漏漏點(diǎn)進(jìn)行工藝修補(bǔ)，重復(fù)檢測(cè)修補(bǔ)后，至油箱試驗(yàn)件在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的壓降符合技術(shù)要求后，可以進(jìn)行氦質(zhì)譜細(xì)漏檢測(cè)。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于對(duì)容器或器件的密封性進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測(cè)。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場(chǎng)當(dāng)中，利用帶電離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過對(duì)此氦離子信號(hào)的接收、放大和顯示，從而反映出被測(cè)器件的密封性。