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發(fā)布時間:2021-05-02 11:57  

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蒸發(fā)鍍膜

一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:

1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

2、基片表面溫度

3、蒸發(fā)功率,速率

4. 真空度

5. 鍍膜時間,厚度大小

組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

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真空鍍膜設(shè)備的日常維護

真空鍍膜設(shè)備的運行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進程等,為了使設(shè)備的運行狀況良好,必須建立和完善設(shè)備的維護與維修制度、維護內(nèi)容、維修標準等。

設(shè)備的維護要有日常維護和定期維護

1,日常維護就是在當天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象,就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機械泵的油少了就要添加,不要認為這油是定期更換的,等到了時間再維護,到時候可能泵的轉(zhuǎn)子就會磨損嚴重了。其相關(guān)組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng)。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉(zhuǎn)架電機燒毀等現(xiàn)象。

2定期維護,有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎?其實每一種設(shè)備都有自己的使用壽命,比如擴散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規(guī)定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費,我覺得不浪費,從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的,老板不希望看到的是機器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護和定期維護做好了,在延長設(shè)備壽命的同時,生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。生產(chǎn)效率也提高了。如需了解更多真空鍍膜的相關(guān)信息,歡迎關(guān)注艾明坷網(wǎng)站或撥打圖片上的電話詢。

3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細心”,每一個人都力求做到“我辦事,你放心”,也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!做好這一點可少走好多彎路,其次是要善于分析現(xiàn)象,不能盲目的拆卸。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11。

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現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法

涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動的蒸發(fā)源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。

此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中,鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區(qū)域,導致薄膜的重大錯誤。 光學監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式,鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。

精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學監(jiān)測系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機先進的光學監(jiān)測軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。只要你把日常維護和定期維護做好了,在延長設(shè)備壽命的同時,生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。