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發(fā)布時(shí)間:2021-07-13 07:59  

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薄膜表面出現(xiàn)褐色條紋原因:①真空度低解決方法:清潔真空室內(nèi)的送鋁、蒸鍍裝置、冷卻系統(tǒng)、放卷、卷取裝置及導(dǎo)輥;檢查抽真空系統(tǒng);降低環(huán)境濕度。②薄膜釋放氣體。解決方法:薄膜預(yù)干燥;延長抽真空時(shí)間。③噴鋁過多。解決方法:提高車速;降低蒸發(fā)舟電流;降低送鋁速度。④蒸發(fā)舟內(nèi)有雜質(zhì)。解決方法:清潔蒸發(fā)舟及熱屏蔽板。⑤蒸發(fā)舟老化。解決方法:更換蒸發(fā)舟。


原來磁場強(qiáng)弱雖不好進(jìn)行控制,但同時(shí)工件也在同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn),且是靶材原子多次沉積此案結(jié)束鍍膜工序,在一段時(shí)間內(nèi)雖然某些部位厚,某些部位薄,但另一個(gè)時(shí)間內(nèi),磁場強(qiáng)的作用下在原來薄的部位沉積上厚的,在厚的部位沉積上薄的,如此多次,整個(gè)膜層成膜后,均勻性還是比較不錯(cuò)的。

亞氣的送氣均勻性也會(huì)對膜層均勻性產(chǎn)生影響,其原理實(shí)際上和真空度差不多,因?yàn)閬啔獾倪M(jìn)入,真空室內(nèi)壓強(qiáng)會(huì)產(chǎn)生變化,均勻的壓強(qiáng)大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機(jī)膜厚度的均勻性。


真空鍍膜機(jī)是蒸發(fā)鍍鋁的設(shè)備。成膜速度快,成膜性強(qiáng),色澤鮮艷,不易污染。電鍍設(shè)備可獲得純度高、膜厚均勻、致密、無廢液和廢水,真空鍍膜機(jī)設(shè)備應(yīng)用廣泛,主要應(yīng)用于汽車反光網(wǎng)、工藝品、首飾、鞋帽、掛鐘、燈具、裝飾等行業(yè)。主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備組成。

因此,排氣系統(tǒng)不僅要在短時(shí)間內(nèi)以低壓保證快速的工作循環(huán),而且還需要快速清除氣體的蒸發(fā)源和蒸發(fā)工件的表面。蒸發(fā)系統(tǒng)包括電氣設(shè)備和加熱蒸發(fā)源。




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在元件方面,在光學(xué)鍍膜,鉻或金屬陶瓷可以制造電阻,在塑料光學(xué)鍍膜上蒸發(fā)鋁、一氧化硅、二氧化鈦等可以制造電容器,蒸發(fā)硒可以得到靜電復(fù)印機(jī)用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可以制造磁致伸縮的起聲元件等等。