潔凈車間高純氣體管道的安裝、施工？

潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、燃氣等一般氣體和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ 71-1990)的有關(guān)規(guī)定。整個系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統(tǒng)的潔凈度。高純氣體是指其氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義、要求嚴格遵守設(shè)計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。要求做到以下幾個方面:

1.外觀的檢查工作

(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴格設(shè)計要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:

1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

2)無銹蝕、蝕斑等現(xiàn)象。

3)管子平直、圓滑，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。

4)管材內(nèi)表面的“粗糙度”是否符合設(shè)計要求，螺紋處密封、保護是否良好。

5)外購成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關(guān)等i級i證書和資i質(zhì)證明。應(yīng)隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，必須符合設(shè)計要求。

6)檢查成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

7)法蘭的密封面應(yīng)當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應(yīng)當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應(yīng)當質(zhì)地柔軟、無老化及分層現(xiàn)象，表面不得有折損、皺i紋等現(xiàn)象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。因此在氣體管路安裝過程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時很容易腐蝕鋼瓶，水分的引入可能來源于客戶使用，沒有關(guān)閉閥門，也可能在充裝過程中或水壓檢驗中。提供設(shè)計、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。聯(lián)接時根據(jù)氣體的性質(zhì)、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準確性。

工程項目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)i先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。

氣體減壓閥是氣動調(diào)節(jié)閥的必備配件

高純氣體管道工程介紹氣體減壓閥是一種自動降低管路工作壓力的專門裝置，它可將閥前管路較高的液體壓力減少至閥后管路所需的水平。減壓閥的構(gòu)造類型很多，按結(jié)構(gòu)形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式等。

氣體減壓閥是氣動調(diào)節(jié)閥的一個必備配件，主要作用是將氣源的壓力減壓并穩(wěn)定到一個定值，以便于調(diào)節(jié)閥能夠獲得穩(wěn)定的氣源動力用于調(diào)節(jié)控制，因此在操作過程中的清潔事項也要多加注意。

氣體減壓閥的閥桿，閥瓣，渦輪，手輪，螺母，支架等滑動部位比較容易沾上很多灰塵，油污以及臟物等，對閥門會產(chǎn)生磨損和腐蝕，因此一定要保證閥門的清潔度以及閥門油漆的的完整度。

閥門上的灰塵要用毛刷之類的打掃和壓縮空氣吹掃，螺紋螺母之類的地方要用抹布擦洗;閥門上的油污和記住殘渣適于蒸汽吹掃，甚至用銅絲刷刷洗，知道加工面，配合面顯出金屬光澤，油漆面顯出油漆本身為止。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風(fēng)雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應(yīng)力、振動載荷和地i震災(zāi)害等。塑料蝶閥應(yīng)該要有人專門負責(zé)，每班都要檢查一次，定期打開沖洗閥進行沖洗，或定期拆卸沖洗，以免臟物堵塞閥門。

1、減壓閥應(yīng)存放在干燥的室內(nèi),通路兩端必須用盲板堵塞,不準堆置存放。

2、長期存放的減壓閥應(yīng)定期檢查,清洗污垢,在各運動部位及加工面上應(yīng)涂以防銹劑,防止生銹。

工業(yè)氣體管道壓力試驗方法

氣體管道壓力試驗方法

管道系統(tǒng)安裝完畢后，為了檢查管道系統(tǒng)的強度和嚴密性及保證安裝質(zhì)量，

應(yīng)對管道系統(tǒng)進行壓力試驗。

試壓的一般規(guī)定

1管道試壓前應(yīng)全i面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

2管道試壓應(yīng)編制試驗方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進行試壓。

3試壓前將不能與管道一起試壓的設(shè)備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離，應(yīng)將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管4管道上所有開口應(yīng)封閉，系統(tǒng)內(nèi)的閥門應(yīng)開啟。

5試壓時，應(yīng)用精度等級1.5級以上的壓力標2只，表的量程應(yīng)為測壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統(tǒng)壓力

波動較小的其他位置。

6試壓時應(yīng)將壓力緩慢升至試驗壓力，并注意觀察管道各部分情況，如發(fā)現(xiàn)問題，應(yīng)卸壓后進行修理，禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。

7當進行壓力試驗時，應(yīng)劃定禁區(qū)，無關(guān)人員不能進入，防止傷人。

8對于劇i毒管道及設(shè)計壓力P≥10Mpa管道，壓力試驗前應(yīng)按規(guī)范要求將各項資料經(jīng)設(shè)計單位復(fù)查，確認無誤。

9試壓方案已經(jīng)過批準，且進行了技術(shù)交底。

10管道系統(tǒng)試驗合格后，應(yīng)及時填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗記錄”，有關(guān)人員簽字確認。