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盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。

泄放和中和 這是控制靜電三部曲的第二步，在微電子生產(chǎn)的凈化室中通常的措施（指針對(duì)問題的解決辦法)是接地，采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器和靜電荷。

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地板安裝準(zhǔn)備前的規(guī)范：

1地板安裝前的準(zhǔn)備：

安裝工具：需備紅外線水平儀、標(biāo)線儀、電動(dòng)切割機(jī)(用做切割腳座之用)、電動(dòng)手提鋸，鋸片60齒(用做切割地板)、電動(dòng)曲線鋸(以鋸邊角地板)、地板吸盤器。

2、硫酸鈣地板安裝施工人員進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)：工作服穿戴整齊。手套、拖鞋、切割地板時(shí)一定要戴好護(hù)眼鏡、口罩。

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通風(fēng)地板采用了高科技產(chǎn)品的防靜電瓷磚在地面上的直接鋪設(shè)，并在防靜電瓷磚下結(jié)合層上鋪設(shè)了一層網(wǎng)格狀銅帶導(dǎo)電層，并設(shè)置了合理的接地系統(tǒng)，使得地磚地面電位接近大地電位，從而獲得了可靠防靜電性能，是目前理想的防靜電與裝飾兼容的通風(fēng)地板，從根本上克服了其它技術(shù)存在的弊端，技術(shù)水平達(dá)到了國(guó)內(nèi)水平。表面平整度：在2米范圍內(nèi)，其安裝完成之后的水平誤差不得超過1mm，檢查方法為用2m靠尺和楔形塞尺檢查。

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