氣體管道安裝工程要求:

(一)工作壓力大于或者等于0.1MPa(表壓,下同)的;

(二)公稱直徑大于25mm的;注1:公稱直徑即公稱通徑、公稱尺寸,代號一般用DN表示。《壓力管道元件制造許可規(guī)則》:本規(guī)則所稱公稱直徑根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),依據(jù)不同的管材、管件,可以指公稱外徑、公稱內(nèi)徑、通徑和口徑、公稱尺寸。

(三)輸送介質(zhì)為氣體、蒸汽、液化氣體、工作溫度高于或者等于其標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)的液體或者可燃、易i爆、有毒、有腐蝕性的液體的。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）。根據(jù)原勞動部《壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定》和質(zhì)檢總局《壓力容器壓力管道設(shè)計(jì)許可規(guī)則》TSGR1001-2008的定義,工業(yè)管道是指企業(yè)、事業(yè)單位所屬的用于輸送工藝介質(zhì)的工藝管道、公用工程管道及其他輔助管道。

集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)

1、特點(diǎn)：實(shí)驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高，為實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。

2、經(jīng)濟(jì)性：建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實(shí)驗(yàn)室空間，更換鋼瓶時(shí)不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。⑥管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道，如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。使用者只需管理較少的鋼瓶，支付較少的鋼瓶租金，因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個(gè)氣源。此種供應(yīng)方式會減少運(yùn)輸費(fèi)用，減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量，以及良好的鋼瓶管理。

3、使用率：集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處，這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場所。

4、安全性：保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。為了保證管道的強(qiáng)度和剛度，必須設(shè)置各種支(吊)架，如活動支架、固定支架、導(dǎo)向支架和彈簧支架等。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

5.對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端氣體過濾器。