潔凈車間高純氣體管道的安裝、施工？

潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、壓縮空氣、燃?xì)獾纫话銡怏w和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ 71-1990)的有關(guān)規(guī)定。整個(gè)系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。高純氣體是指其氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義、要求嚴(yán)格遵守設(shè)計(jì)、施工要求，工作嚴(yán)肅認(rèn)真、一絲不茍，高度重視各個(gè)細(xì)小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。要求做到以下幾個(gè)方面:

1.外觀的檢查工作

(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴(yán)格設(shè)計(jì)要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細(xì)進(jìn)行下列外觀檢查:

1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

2)無銹蝕、蝕斑等現(xiàn)象。

3)管子平直、圓滑，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。

4)管材內(nèi)表面的“粗糙度”是否符合設(shè)計(jì)要求，螺紋處密封、保護(hù)是否良好。

5)外購成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關(guān)等i級(jí)i證書和資i質(zhì)證明。應(yīng)隨機(jī)抽樣做顯微鏡下檢驗(yàn)，必須符合設(shè)計(jì)要求。

6)檢查成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

7)法蘭的密封面應(yīng)當(dāng)平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應(yīng)當(dāng)能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應(yīng)當(dāng)質(zhì)地柔軟、無老化及分層現(xiàn)象，表面不得有折損、皺i紋等現(xiàn)象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。因此在氣體管路安裝過程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時(shí)很容易腐蝕鋼瓶，水分的引入可能來源于客戶使用，沒有關(guān)閉閥門，也可能在充裝過程中或水壓檢驗(yàn)中。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。聯(lián)接時(shí)根據(jù)氣體的性質(zhì)、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準(zhǔn)確性。

工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)i先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。

氣體減壓閥是氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥的必備配件

高純氣體管道工程介紹氣體減壓閥是一種自動(dòng)降低管路工作壓力的專門裝置，它可將閥前管路較高的液體壓力減少至閥后管路所需的水平。減壓閥的構(gòu)造類型很多，按結(jié)構(gòu)形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式等。

氣體減壓閥是氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥的一個(gè)必備配件，主要作用是將氣源的壓力減壓并穩(wěn)定到一個(gè)定值，以便于調(diào)節(jié)閥能夠獲得穩(wěn)定的氣源動(dòng)力用于調(diào)節(jié)控制，因此在操作過程中的清潔事項(xiàng)也要多加注意。

氣體減壓閥的閥桿，閥瓣，渦輪，手輪，螺母，支架等滑動(dòng)部位比較容易沾上很多灰塵，油污以及臟物等，對(duì)閥門會(huì)產(chǎn)生磨損和腐蝕，因此一定要保證閥門的清潔度以及閥門油漆的的完整度。

閥門上的灰塵要用毛刷之類的打掃和壓縮空氣吹掃，螺紋螺母之類的地方要用抹布擦洗;閥門上的油污和記住殘?jiān)m于蒸汽吹掃，甚至用銅絲刷刷洗，知道加工面，配合面顯出金屬光澤，油漆面顯出油漆本身為止。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風(fēng)雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應(yīng)力、振動(dòng)載荷和地i震災(zāi)害等。塑料蝶閥應(yīng)該要有人專門負(fù)責(zé)，每班都要檢查一次，定期打開沖洗閥進(jìn)行沖洗，或定期拆卸沖洗，以免臟物堵塞閥門。

1、減壓閥應(yīng)存放在干燥的室內(nèi),通路兩端必須用盲板堵塞,不準(zhǔn)堆置存放。

2、長期存放的減壓閥應(yīng)定期檢查,清洗污垢,在各運(yùn)動(dòng)部位及加工面上應(yīng)涂以防銹劑,防止生銹。

工業(yè)氣體管道壓力試驗(yàn)方法

氣體管道壓力試驗(yàn)方法

管道系統(tǒng)安裝完畢后，為了檢查管道系統(tǒng)的強(qiáng)度和嚴(yán)密性及保證安裝質(zhì)量，

應(yīng)對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)。

試壓的一般規(guī)定

1管道試壓前應(yīng)全i面檢查、核對(duì)已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

2管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對(duì)于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

3試壓前將不能與管道一起試壓的設(shè)備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離，應(yīng)將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時(shí)裝上短管4管道上所有開口應(yīng)封閉，系統(tǒng)內(nèi)的閥門應(yīng)開啟。

5試壓時(shí)，應(yīng)用精度等級(jí)1.5級(jí)以上的壓力標(biāo)2只，表的量程應(yīng)為測壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統(tǒng)壓力

波動(dòng)較小的其他位置。

6試壓時(shí)應(yīng)將壓力緩慢升至試驗(yàn)壓力，并注意觀察管道各部分情況，如發(fā)現(xiàn)問題，應(yīng)卸壓后進(jìn)行修理，禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。

7當(dāng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)劃定禁區(qū)，無關(guān)人員不能進(jìn)入，防止傷人。

8對(duì)于劇i毒管道及設(shè)計(jì)壓力P≥10Mpa管道，壓力試驗(yàn)前應(yīng)按規(guī)范要求將各項(xiàng)資料經(jīng)設(shè)計(jì)單位復(fù)查，確認(rèn)無誤。

9試壓方案已經(jīng)過批準(zhǔn)，且進(jìn)行了技術(shù)交底。

10管道系統(tǒng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)及時(shí)填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”，有關(guān)人員簽字確認(rèn)。