細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒、真菌、螨蟲(chóng)）在相對(duì)濕度超越60%的環(huán)境中能夠活躍地繁衍。一些菌群在相對(duì)濕度超越30%時(shí)就能夠添加。在相對(duì)濕度處于40%至60%的規(guī)模之間時(shí)，能夠使細(xì)菌的影響以及呼吸道gan染降至低。相對(duì)濕度在40%至60%的規(guī)模相同也是人類感覺(jué)舒適的適度規(guī)模。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚裂，呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車間、潔凈室外表的靜電荷堆集——這是大家期望的成果。較低的濕度比較合適電荷的積江西并成為潛在的具有破壞性的跟電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超越50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，可是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們能夠在絕緣體或許未接地的表成上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)刻。

離開(kāi)無(wú)塵車間應(yīng)該注意的事項(xiàng)：如果該工作服在返回時(shí)再次穿用，則在脫下時(shí)應(yīng)注意工作服外表面盡量少受污染，在橫向長(zhǎng)凳外脫去無(wú)塵車間專用鞋，依次將腳放在較不潔凈的區(qū)域(必要時(shí)可規(guī)定在腳上套塑料鞋套)。必須解開(kāi)連衫褲或長(zhǎng)衫，但不得將手從衣服中退出來(lái)，即直接將連衫褲或長(zhǎng)衫由肩部脫下至腰部，然后再將手脫出來(lái)。若穿的是連衫褲，則要坐著脫yi，將一條腿脫出來(lái)，應(yīng)使連衫褲的空袖和空褲腳不得觸及地坪。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。