電容式加速度傳感器又稱變電容式加速度傳感器，它的結(jié)構(gòu)原理如下圖所示，一個(gè)質(zhì)量塊固定在彈性梁的中間，質(zhì)量塊的上端面是一個(gè)活動(dòng)電極，它與上固定電極組成一個(gè)電容器C1；質(zhì)量塊的下端面也是一個(gè)活動(dòng)電極，它與下固定電極組成另一個(gè)電容器C2。

當(dāng)被測(cè)物的振動(dòng)導(dǎo)致與其固連的傳感器基座振動(dòng)時(shí)，質(zhì)量塊將由于慣性而保持靜止，因此上、下固定電極與質(zhì)量塊之間將會(huì)產(chǎn)生相對(duì)位移。這使得電容C1、C2的值一個(gè)變大、另一個(gè)變小，從而形成一個(gè)與加速度大小成正比的差動(dòng)輸出信號(hào)。

如何選擇選擇振動(dòng)傳感器時(shí)要考慮以下因素：范圍和精度環(huán)境條件測(cè)量表面的形狀這三個(gè)傳感器中加速度計(jì)是常見的，因?yàn)樗哂辛己玫念l率范圍，意味著它可以檢測(cè)各種振動(dòng)頻率，加速度計(jì)價(jià)格合理且經(jīng)久耐用。必須直接安被測(cè)機(jī)器上。

渦流傳感器或電容傳感器具有中等精度，并非高分辨率應(yīng)用的選擇。它們非常耐用，非常適合在骯臟的環(huán)境中使用。就像加速度計(jì)一樣，它們也必須直接安裝到要監(jiān)視的機(jī)器上。

應(yīng)變儀既通用又，同時(shí)仍適用于危險(xiǎn)環(huán)境。不幸的是，它們可能很難正確安裝（要正確安裝的確困難，因?yàn)榘惭b不對(duì)就無(wú)法讓應(yīng)變片與被測(cè)對(duì)象同步應(yīng)變），并且使用應(yīng)變片需要放大器，這會(huì)推高總價(jià)格。

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。

電容位移傳感器特點(diǎn)　　1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)，軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度；

　　2.往復(fù)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位精度；3.正弦波激振和脈激振中振動(dòng)測(cè)量；

　　4.機(jī)器零部件相對(duì)振動(dòng)相對(duì)變形；

　　5.盤類零件的端面振擺；

　　6.軸承間隙和油膜厚度；

　　7.檢測(cè)零部件尺寸和平直度；

　　8.線切割機(jī)床電極絲的振動(dòng)；

　　9.機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量；