電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。以電容式微位移傳感器為基礎(chǔ)，利用運(yùn)算放大器測量電路原理，當(dāng)恒定頻率的正弦激勵(lì)電流通過傳感器電容時(shí)，傳感器上產(chǎn)生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關(guān)系。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個(gè)數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。