烘箱的相關(guān)維護(hù)知識(shí)

電工對(duì)防爆烘箱的電器配置更換零件時(shí)候要做到原樣零件選配，接地線不能忽視。對(duì)接線端子應(yīng)該經(jīng)常檢查，對(duì)烘箱供應(yīng)企業(yè)要求有一套電器配件，可以及時(shí)更新更換。杜絕隱患。

對(duì)操作工人的烘烤產(chǎn)品的工藝流程要嚴(yán)格培訓(xùn)，讓操作員清楚使用溫度和可進(jìn)行烘烤操作的物品，嚴(yán)禁私自烘烤不屬于安全范圍內(nèi)的產(chǎn)品。切記，此類事件發(fā)生很嚴(yán)重。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置

箱體部分

采用流線圓弧型設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；內(nèi)膽均為鏡面不銹鋼材料制成；工作室內(nèi)擱架可隨用戶要求任意調(diào)節(jié)高度及擱架多少；采用EBM風(fēng)機(jī)(10檔風(fēng)速調(diào)整)，微量風(fēng)循環(huán)，有利于干燥細(xì)小或粉末有關(guān)物品并且使箱內(nèi)溫度更加均勻，同時(shí)使箱內(nèi)物品蒸發(fā)的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率；合理的風(fēng)道和循環(huán)系統(tǒng)，使工作室內(nèi)的均勻度變化小。

工業(yè)烘箱的正確維護(hù)保養(yǎng)，提高烘箱設(shè)備的使用壽命。

維護(hù)保養(yǎng)需知：

1）上下班用軟布把烘箱表面擦干凈，保持烤箱表面清潔，防止表層脫漆影響外觀。

2）工業(yè)烤箱內(nèi)應(yīng)經(jīng)常擦拭，以免腐蝕性物質(zhì)粘附在內(nèi)膽上，影響烤箱使用壽命。

3）鼓風(fēng)烘箱烘烤之溫度絕l不能超過(guò)本機(jī)之規(guī)定溫度。

4）不可將工業(yè)烤箱風(fēng)道和風(fēng)孔堵死，以保證正常送風(fēng)風(fēng)道。

5）在電熱烤箱烘烤過(guò)程中聽(tīng)到聲音異常應(yīng)立即停止工作，檢查馬達(dá)及風(fēng)葉輪，以免燒壞馬達(dá)。

6）高溫烘烤物品后，不能立即關(guān)掉總開(kāi)關(guān)，應(yīng)打開(kāi)風(fēng)扇開(kāi)關(guān)讓熱量散發(fā)出去后方可關(guān)機(jī)，以免烤箱局部受熱變形。

7）熱風(fēng)循環(huán)烘箱電控制箱應(yīng)定期檢修，由于電熱接觸器頻繁通斷，定期更換，以防觸頭燒壞咬死，不能切斷電熱電源，爐內(nèi)溫度升高會(huì)烤壞產(chǎn)品。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過(guò)程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開(kāi)門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。