催化燃燒設備工作原理是將有機廢氣直接引入催化燃燒裝置，開始階段通過電加熱器將其溫度升高至反應所需要的溫度，廢氣再催化劑的作用下反應生成無害的H2O和CO2，分解后釋放出的熱量通過熱交換器加熱進入催化床的有機廢氣，放熱和熱交換所需的熱量達到平衡，在無需電加熱的情況下，通過自身平衡處理掉高濃度有機廢氣。

催化氧化燃燒利用轉輪經過脫附區(qū)后，VOCs 進入脫附管路，經過脫附風機進入換熱器換熱，催化燃燒產生的部分熱量經過換熱被VOCs重新帶入催化燃燒器內，加熱升溫進行催化劑催化處理，催化燃燒技術可以在較低溫度（300℃~500℃）下實現(xiàn)對VOCs95%以上凈化效率，完全反應后生成CO2和H2O，同時放出大量熱，產生的熱量一部分通過混合罐進入轉輪脫附區(qū)對吸附在轉輪上的VOCs進行脫附；一部分進入換熱器換熱，換熱后的部分熱量通過煙囪排出，另一部分被經過換熱器的VOCs重新帶入催化燃燒器。反復循環(huán)利用，可以的降低能量損耗，同時實現(xiàn)廢氣自我催化分解的效果。

冷凝技術指將系統(tǒng)壓力增加或系統(tǒng)溫度降低，讓氣體中的VOCs冷凝成液體，從而將其除去。但冷凝過程需要低溫高壓，消耗的能量較大，而該技術對低濃度與低沸點VOCs凈化效果不理想。膜分離技術是利用空氣和VOCs穿透能力的不同或依靠膜的選擇性將氣體混合物中不同的分子分離。但由于滲透膜價格昂貴，主要應用于回收有價值的有機化合物。

該法工藝簡單，處理，但是在燃燒過程中，能量消耗巨大，同時高溫產生的氮氧化物、有機物不完全燃燒產生的，都會造成環(huán)境的二次污染。光催化技術利用光催化劑在光照條件下，將VOCs分解為水和二氧化碳等。由于光催化反應緩慢，效率較低，因此應用并不廣。催化燃燒技術指在低于著火點的溫度下，VOCs在催化劑表面迅速氧化為水和二氧化碳。該技術因起燃溫度低、適用范圍廣、沒有二次污染等特點成為有應用前景的VOCs處理技術之一。