1 硅微粉的種類 耐火材料工業(yè)所用的 SiO 2微粉主要是微米級（μm）的 SiO 2微粉的種類很多，其中性能佳應用 廣的當屬硅灰 （硅鐵合金廠及金屬硅廠的副產 品） 硅微粉的種類有： （1）硅灰：或稱冷凝硅灰，由鐵合金廠氣相沉淀 形成硅灰的主要成分是非晶質無定形的二氧化硅， 呈中空球狀，有活性，比表面積大，表面能高，易吸水 發(fā)生團聚[1]在高溫冶煉爐內， 石英約在 2 000 ℃下被還原 成液態(tài)金屬硅，同時也產生SiO 氣體，隨煙氣逸出爐 外 SiO 氣體遇到空氣時被氧化成 SiO 2，即凝聚成非 常微小且具有活性的SiO 2顆粒 經干式收塵裝置收 集，即得到硅灰硅灰是一種松散團聚在一起的球形 無定形粉體，具有較小的粒徑（平均為 0.1~0.5 μm， 比表面積 15~30 m 2 /g），活性較大，能與水泥顆?；?氧化鎂顆粒反應水化， 提高混凝土和耐火材料的強 度，特別是耐火澆注料的強度。

球形硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、精細化工、可擦寫光盤、大面積電子基板、特種陶瓷及日用化妝品等高新技術領域也有應用，市場前景廣闊。隨著我國微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，超大規(guī)模集成電路對封裝材料的要求越來越高，不僅要求其超細，而且要求高純度，特別是對于顆粒形狀提出球形化要求。但制備球形硅微粉是一項跨學科高難度工程，目前世界上只有少數國家掌握此技術。眾所周知，目前國內采購的球形球形氧化硅主要來自于進口的球形球形氧化硅價格高，且運輸周期長。國內生產的高質量球形球形氧化硅，具有本土化優(yōu)勢，完全可以替代進口。

球形硅微粉，主要用于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的封裝上，根據集程度（每塊集成電路標準元件的數量）確定是否球形硅微粉，當集程度為1M到4M時，已經部分使用球形粉，8M到16M集程度時，已經全部使用球形粉。250M集程度時，集成電路的線寬為0.25μm，當1G集程度時，集成電路的線寬已經小到0.18μm，目前計算機PⅣ 處理器的CPU芯片，就達到了這樣的水平。這時所用的球形粉為更的，主要使用多晶硅的下腳料制成正硅酸乙脂與四水解得到SiO2，也制成球形其顆粒度為 -（10～20）μm可調。這種用化學法合成的球形硅微粉比用天然的石英原料制成的球形粉要貴10倍，其原因是這種粉基本沒有性α射線污染，可做到0.02PPb以下的鈾含量。當集程度大時，由于超大規(guī)模集成電路間的導線間距非常小，封裝料性大時集成電路工作時會產生源誤差，會使超大規(guī)模集成電路工作時可靠性受到影響，因而必須對性提出嚴格要求。而天然石英原料達到(0.2～0.4) PPb就為好的原料?，F在國內使用的球形粉主要是天然原料制成的球形粉，并且也是進口粉。

熔融硅微粉是由天然石英（SiO2）或熔融石英（天然石英經高溫融熔、制冷后的非晶態(tài)SiO2）經破碎、球磨（或震動、氣流磨）、浮選、酸洗提煉、高純水外理等多道工藝加工而成的微粉。天然石英礦石由于體積過大不容易加工成硅微粉，因而要通過碎裂等級分類成石英沙，石英沙再加工成硅微粉。那熔融硅微粉和石英砂兩者區(qū)別在哪里？我們就來各自介紹一下：1、石英沙的顏色為奶白色、或無色半透明狀，硬度7。