什么是高純氣體？

改革開放以來，隨著我國高新技術的快速發(fā)展，計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產；此外，新型電光源、光電半導體器件、光纖通訊器件也過的迅猛發(fā)展，上述高新產品的生產中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體？半導體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。工業(yè)氣體在國家標準《常用危險化學品的分類及標識》（GB13690-1992）中，通常被劃分為第2類壓縮氣體和液化氣體。

瑞士聯邦理工學院(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne(EPFL))的化學工程師證明，原子級的石墨烯膜能夠有效地分離氣體混合物。這種膜是可伸縮的，使其成為工業(yè)氣體分離的突破口。它是一種五色無味的氣體，在空氣的含量為0．935％(按體積計算)，氬的沸點為－186℃，介于氧和氦的沸點之間。將混合氣體（例如空氣）分離成它們各自的組分是一個具有多種工業(yè)應用的過程，包括沼氣生產、金屬加工中的空氣富集中有毒氣體的去除、以及氨廠和煉油廠的氫回收。

氣體的應用

氣體產品作為現代工業(yè)重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術；高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分，包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體。氣體的應用，特別對這些領域的高新技術有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現代科學技術的需要和推動，氣體工業(yè)產品才能在品種、質量和數量等方面得到飛躍發(fā)展.

稀有氣體的特點

稀有氣體(RareGases)：元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。低壓液化氣體(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。按其門類可分為純氣、高純4_6m p-_4氣和半導體特殊材料氣體三大類。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃氣體。此類氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯運和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、二氧化硫、二氧化氮、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。