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發(fā)布時間:2021-07-28 09:54  

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潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。


凈化產(chǎn)品生產(chǎn)過程對于資源特別是對勞動力和資金的需求帶有很大的

凈化產(chǎn)品生產(chǎn)過程對于資源特別是對勞動力和資金的需求帶有很大的波動性。它要求各個不同專業(yè)工種的勞動力在不同的時間依次對同一產(chǎn)品展開施工作業(yè),從而使無塵室裝修產(chǎn)品的生產(chǎn)過程出現(xiàn)對勞動資源需求的高峰和低谷。 綜上所述從經(jīng)濟角度看,凈化工程-凈化工程裝修市場的競爭主要是造價的競爭,因此誰在潔凈工程建設(shè)中既能確保工期、質(zhì)量,又能注重成本管理,控制和把握合理的造價,以的成本,換取效益,誰就能在潔凈室領(lǐng)域競爭中獲取主動,走向成功。


手術(shù)室空調(diào)機組的要求及要求

機組停機時,新風(fēng)密閉閥同時關(guān)閉,風(fēng)機如需停機,時間應(yīng)可由用戶自行設(shè)定。 機組應(yīng)配置紫外線燈滅菌。 機組應(yīng)配置手動強制開機功能,確保機組在控制系統(tǒng)故障時仍可啟動。 機組應(yīng)采用可匹配變頻器控制風(fēng)機運行,以滿足手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)的要求。 機組應(yīng)采用可實現(xiàn)多種工況運行模式,控制室內(nèi)溫濕度,可通過通信接實施中央監(jiān)控,或與BMS樓宇自動化系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)。 4.人和貨物進入車間必須經(jīng)過,風(fēng)淋室,貨淋室,傳遞窗主要傳遞小物品。 5.在凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺,層流罩(FFU),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。 6.測試潔凈室潔凈度用,激光塵埃粒子計數(shù)器。