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發(fā)布時間:2020-12-03 07:08  
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影響誠薄機誠薄硅片平整度的因素有哪些?
要保證硅片厚度的一致性。因為當(dāng)研磨時,由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣,所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時間時將行星齒輪片翻轉(zhuǎn)后再進行研磨,從而確保硅片厚度的一致性,同時也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進行翻車專為適當(dāng),是要根據(jù)減薄厚度和測試結(jié)果來定的。
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在經(jīng)過減薄加工的硅片厚度公差和平整度是與行星齒輪片的平整性有著必然聯(lián)系的。因為行星齒輪片采用的是球墨鑄鐵加工制成的,相對行星齒輪片的平整度要求是比較高的,如果行星齒輪本身不夠平整的話,減薄出來的硅片它的平整性就會隨之受到影響而變差,同時厚度公差也會增大;還有就是在研磨時一定要確保磨料的流量不變,尤其是減薄前硅片本身的厚度要足夠均勻才可以,如果硅片在高溫擴散后出現(xiàn)變形,導(dǎo)致其彎曲,而彎曲程度相對較大時,那么在減薄的過程中是極易破損的,或者出現(xiàn)較大的厚度誤差。因此,減少擴散工藝引起硅片變形是提高硅片平整度和減少厚度公差的一個十分重要的因素。
減薄機設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項目:雙面研磨機,內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機,軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅(qū)動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動組件,絲桿導(dǎo)軌進給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
硅片減薄機
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如: LED藍寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
工作原理:
1.本系列橫向研磨機為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)。
點:
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在 0.002m范圍內(nèi)。
2.減薄; LED藍寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。