臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒。

另外，O3對霉菌也有極強的殺滅作用。O3由于穩(wěn)定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。而傳統(tǒng)的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。

他求出分解臭氧產生 17.064kcal/mol(1kcal=4.18kJ ，下同 ) 。這大約是目前采用值的一半。此后 1876 年伯塞樂測定得出值為29.6kcal/mol 。 1908 年楊（ Jahn ）求出的值為 34.0kcal/mol 。由于臭氧是一種吸熱化合物，使人們試圖用熱工藝來設計臭氧發(fā)生器，但這一設想由于臭氧在高溫下快速分解而告失敗。氣態(tài)臭氧的自然分解在室溫下需要數小時，然而當臭氧溶于水時將以較快速度分解，分解時間一般以分鐘計。在水中臭氧的穩(wěn)定性受水質的影響很大。蒸餾水中臭氧的半衰期大約為 25min ，但在二次蒸餾水中，即使在 20℃ 下，經過 80min 也只有 10 ％的臭氧分解，若在水溫接近 0℃ 臭氧變得很穩(wěn)定。

因低溫對臭氧穩(wěn)定性的影響很大，所以在低溫條件下產生臭氧的工藝研究引起人們的重視。豪特福伊勒（ Hautefeuille) 和夏皮斯（ Chappuis) 在極低溫度下通過氧氣放電得到高濃度臭氧，在 0℃ 下得到含量為 14.9 ％（質量）的臭氧，在 -23℃ 下臭氧濃度為 21.4 ％。后來通過 -100℃ 下對富臭氧氧氣氣體施加 125atm （ 1atm=0.1MPa) 壓力，成功地生產出液態(tài)臭氧，為深靛藍色液體。氣態(tài)臭氧必須在持續(xù)冷卻地條件下慢慢加壓，否則會發(fā)生。