山東博山真空泵廠有限公司，地處國家旅游風(fēng)景區(qū)，自然風(fēng)景誘人忘返，地理環(huán)境優(yōu)越，交利，博萊、濱博、濟(jì)青高速公路環(huán)繞周圍，是中國泵都的所在地。

一般我們在開啟水環(huán)真空泵之前都會檢查一下零件是否齊全，是否有什么故障，以免在使用中出現(xiàn)問題，影響工作效率，對于濾芯同樣也是，等檢查完所有的零件沒問題之后，就可以打開機(jī)器看下驅(qū)動電流情況，如果電流正常就沒事，但是如果電流出現(xiàn)下降的趨勢，就很有可能是水環(huán)真空泵濾芯堵住了，影響了電流的運(yùn)轉(zhuǎn)。有些原來不是測量壓力的裝置，如:電子管、顯像管等，若改換饋電方式，將其電極接成電離規(guī)的方式，測全出管內(nèi)離子流的變化，便可知管內(nèi)壓力的變化率。

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山東博山真空泵廠有限公司，專業(yè)生產(chǎn)水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、MVR成套系統(tǒng)。公司坐落于歷史悠久的齊魯名城--淄博。

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；葉輪與泵軸緊固螺母松脫或泵軸變形彎曲，造成葉輪多移，直接與泵體摩擦，或軸承損壞，都有可能降低水環(huán)真空泵的轉(zhuǎn)速。假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。

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山東博山真空泵廠有限公司是真空泵及壓縮機(jī)制造商，技術(shù)同步于美國和德國處于世界領(lǐng)導(dǎo)水平。于公司在中國山東博山，服務(wù)于高速發(fā)展的中國大陸和亞太地區(qū)。

半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；公司設(shè)區(qū)級真空研究所和博山區(qū)技術(shù)監(jiān)督局在我公司設(shè)立的真空泵檢測中心。氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍。

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山東博山真空泵廠有限公司，公司有一套完整的檢驗(yàn)、檢測設(shè)備，具備材料拉伸物理試驗(yàn)室，材料化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室、長度計(jì)量室、真空測試室。并擁有動平衡試驗(yàn)機(jī)，鑄件回火爐，鑄件真空浸滲處理等設(shè)備。零件加工采用數(shù)控機(jī)床及數(shù)控加工中心為主要加工手段，盡較大努力保證產(chǎn)品的高品質(zhì)。在運(yùn)行水環(huán)真空泵時，要注意觀察軸承運(yùn)行的溫度，如果溫度過高，就要立即停泵，以保護(hù)設(shè)備。

盡量利用密封件上可用來指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計(jì)等進(jìn)行檢漏。

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