半導體廢氣處理設備

         廢氣介紹：由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類：酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。

        廢氣危害：半導體制造工藝中產生的廢氣如果沒有經過很好的處理進行排放，將造成嚴重的問題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。

        廢氣處理設備處理方法：依據(jù)這些廢氣的特性，在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，針對不同污染物，可采取以下綜合處理方法：1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機廢氣處理系統(tǒng)。