影響無塵凈化工程潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：不攜入,在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理； 2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。 4）機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。