潔凈室檢測(cè){電子廠房檢測(cè)}

——電子廠房檢測(cè)——

    隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異，以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速。檢測(cè)項(xiàng)目：風(fēng)量（換氣次數(shù)）、新風(fēng)量、風(fēng)速、壓差（靜壓差）、溫度、相對(duì)濕度、噪聲、照度、高效空氣過濾器檢漏、懸浮粒子（空氣潔凈度等級(jí)）、浮游菌、沉降菌、自凈時(shí)間、表面染菌密度等?，F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性，以人們熟悉的手機(jī)、筆記本電腦為例，它所使用的集成電路、電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過程都要求在受控環(huán)境條件下進(jìn)行操作，其中以集成電路生產(chǎn)過程對(duì)受控環(huán)境的要求尤為嚴(yán)格。

     電子產(chǎn)品的種類繁多，隨著微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加，需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進(jìn)行全過程生產(chǎn)或部分生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有:半導(dǎo)體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器TFT-LCD生產(chǎn)，微硬盤驅(qū)動(dòng)器HDD生產(chǎn)、等離子顯示器PDP生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)、印刷電路板、芯片制造、封裝等。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越顯著，潔凈度也相應(yīng)提高。

      電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。

{潔凈室檢測(cè)}

         在HEPA過濾器的進(jìn)風(fēng)側(cè)（上游側(cè)）引入PAO氣溶膠，對(duì)空氣凈化系統(tǒng)檢漏可直接把PAO煙霧放入空調(diào)器內(nèi)，注意不要被空調(diào)器內(nèi)的過濾器吸附。對(duì)線性讀數(shù)光度計(jì)來(lái)說，氣溶膠發(fā)塵的濃度為10-100μg/L。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。濃度低于20μg/L時(shí)，檢漏的靈敏度欠佳；高于80μg/L時(shí)，長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過度污染過濾器。所以過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)放的濃度一般為20-30μg/L即可。調(diào)節(jié)氣溶膠發(fā)生器輸出

閥的開合度，直至確認(rèn)上游濃度達(dá)到20-30μg/L，并保持相對(duì)穩(wěn)定。設(shè)定100%基準(zhǔn)。但若氣溶膠的量發(fā)生小，達(dá)不到規(guī)定的濃度，可將發(fā)生器放在被測(cè)HEPA系統(tǒng)風(fēng)機(jī)箱送風(fēng)段內(nèi)。對(duì)于FFU層流罩和生物安全柜等可用4B發(fā)生器，將氣溶膠引入過濾器的上游。2條款對(duì)P2、3、P4實(shí)驗(yàn)室有下列情況之一時(shí)，應(yīng)對(duì)生物安全實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行綜合性能檢測(cè)：1）竣工后，投入使用前2）停止使用半年以上重新投入使用3）進(jìn)行大修或更換高效過濾器后4）一年一度的常規(guī)檢測(cè)。然后用光度計(jì)的采樣頭掃描過濾器的出風(fēng)側(cè)以及支架。按ISO14644描述：掃描時(shí)速度約2cm/s，掃描按直線來(lái)回往復(fù)地進(jìn)行，掃描的覆蓋面之間略有重疊。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。掃描應(yīng)遍及過濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過濾器周邊、過濾器邊框與安裝架構(gòu)之間的密封處及安裝架構(gòu)的結(jié)合點(diǎn)。當(dāng)上游濃度正確，連10-4μg/L的微小滲漏都可在光度計(jì)上反映出來(lái)。泄漏處經(jīng)用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏或螺栓緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢，儀表指示為“0”，表明漏點(diǎn)已被堵住。一般檢查一個(gè)過濾器在3-5分鐘內(nèi)就可完成。

潔凈室檢測(cè)

一、目的:在生產(chǎn)過程中做好衛(wèi)生監(jiān)測(cè)與管理，防止交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量起到重要的作用，因此特質(zhì)定無(wú)塵潔凈室潔凈區(qū)工藝衛(wèi)生管理制度。

二、范圍:適用于潔凈車間的人，物流及車間的環(huán)境，設(shè)施潔凈有關(guān)的其它元素的管理

三、工作程序:

1、進(jìn)入潔凈區(qū)工作的人員須經(jīng)過體檢，取得健康證后才能上崗，每年復(fù)查一次，如果不合格者，必須調(diào)出，患有感冒的工作人員不得進(jìn)入潔凈區(qū)工作。

2、潔凈區(qū)每個(gè)人所占面積不得少于4平方米

3、潔凈區(qū)內(nèi)工作服管理見《潔凈區(qū)工作服管理制度》

4、每天下班后潔凈車間要用紫外燈消毒60分鐘，并填好"紫外燈消毒記錄"每月用甲醛熏蒸一次，時(shí)間半個(gè)小時(shí)，并填寫"熏蒸消毒記錄"

5、人出入潔凈區(qū)必須按以下程序和要求進(jìn)行。

人進(jìn)-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔凈服-------手消毒-------風(fēng)林

潔凈區(qū)------出門口------脫潔凈服-------穿外衣-----換鞋-------人出